服務(wu)
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技術(shu)參數 |
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工(gong)作溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最高(gao)淬火(huo)壓(ya)力(絕對值) |
12 |
1.9 |
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工作真空度范圍[mbar] |
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低(di)真空 |
10-1 |
10-1 |
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高真空(kong) |
10-4 |
10-5 |
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有效工作(zuo)區(qu)(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
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加熱元件材(cai)料(liao) |
石墨 |
鉬 |
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隔熱層 |
特殊石墨(mo)氈，可選擇(ze)覆蓋CFC |
鉬+不銹鋼 |
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機(ji)械泵(beng)抽氣速率(lv)[m3/h] |
200 |
300 |
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羅茨泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機械(xie)泵抽氣速率（可選）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵抽氣速率 （可選）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵(beng)抽(chou)氣速率（可選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維(wei)持泵抽氣速(su)率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
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控(kong)制系統 |
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總連接負荷[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機負(fu)荷[kW] |
115 |
75 |
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最小(xiao)水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最(zui)大水流量[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度均勻(yun)性[℃] |
正(zheng)負(fu)5度 |
正負(fu)5度 |