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技術參數 |
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工作溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最高(gao)淬火壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
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工作真(zhen)空度范圍[mbar] |
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低真空 |
10-1 |
10-1 |
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高真(zhen)空(kong) |
10-4 |
10-5 |
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有效(xiao)工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大裝爐量(liang)[kg] |
800 |
1350 |
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加(jia)熱元件(jian)材料(liao) |
石墨 |
鉬 |
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隔熱層 |
特殊石墨氈(zhan)，可選擇覆蓋CFC |
鉬+不銹鋼 |
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機械泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
200 |
300 |
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羅茨泵抽氣速(su)率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機械泵抽氣速(su)率(lv)（可選(xuan)）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅(luo)茨泵抽(chou)氣速率 （可選(xuan)）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵(beng)抽氣(qi)速率(lv)（可(ke)選(xuan)）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維持泵抽氣速(su)率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
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控制系統 |
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總連接負(fu)荷[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機負(fu)荷(he)[kW] |
115 |
75 |
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最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最(zui)大水流量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度均勻性[℃] |
正負5度 |
正負5度 |