Services
|
技術參數 |
||
|
工作溫(wen)度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
|
最高淬(cui)火壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
|
工作真(zhen)空度范圍(wei)[mbar] |
||
|
低真空 |
10-1 |
10-1 |
|
高真空 |
10-4 |
10-5 |
|
有效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
|
最大裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
|
加熱元件材料 |
石墨 |
鉬 |
|
隔熱層 |
特殊石(shi)墨氈，可選擇覆蓋CFC |
鉬+不銹鋼 |
|
機械泵抽氣速(su)率[m3/h] |
200 |
300 |
|
羅茨泵抽氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
|
機(ji)械泵抽氣速率（可選）[m3/h] |
300 |
300 |
|
羅茨泵抽氣速(su)率 （可選(xuan)）[m3/h] |
1000 |
1000 |
|
擴散泵抽(chou)氣速率（可(ke)選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
|
維(wei)持泵抽(chou)氣速率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
|
控制系(xi)統(tong) |
||
|
總連接負荷[kVA] |
190 |
290 |
|
氣(qi)冷風機負荷(he)[kW] |
115 |
75 |
|
最小(xiao)水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
|
最(zui)大水(shui)流(liu)量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
|
溫度均勻(yun)性[℃] |
正負5度(du) |
正負5度 |